如果變形非常小，在加工要求的精度范圍以內，這種變形幾乎可以忽略不計。但如果變形超出了加工精度要求，會使尺寸出現明顯偏差，影響工件的加工形狀。

造成變形的原因是多方面的，譬如，材料問題、熱處理問題、結構設計問題、工藝安排問題及線切割時工件的裝夾和切割路徑選擇問題等等。這些多方面的原因將導致材料內部應力作用發生變形。

可以采取一定的措施對線切割加工的變形予以控制，防止變形現象的發生。

1）切割前的粗加工或應力釋放切割

如果需要在一塊材料上進行大面積切割，會使材料內部殘余應力的相對平衡狀態受到破壞，材料會產生很大的變形。我們可以先消除材料的大部分應力，辦法是進行粗加工（粗加工），把大部分的余量先去掉，或者是進行釋放應力的路徑切割。